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近日，我院何剛教授課題組在柔性顯示器件領域取得重要進展。該組一篇研究文章“Nontoxic, Eco‐friendly Fully Water‐Induced Ternary Zr–Gd–O Dielectric for High‐Performance Transistors and ?Unipolar Inverters”在電子器件權(quán)威刊物《Advanced Electronic Materials》上在線發(fā)表。

論文鏈接：

https://doi.org/10.1002/aelm.201800100；??

這是繼2018年該課題組在Advanced Electronic Materials發(fā)表論文后又一進展

https://doi.org/10.1002/aelm.201700543?。

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該論文創(chuàng)性地報道了利用全水溶液合成的方法制備了ZrGdO_x和In₂O₃及其在薄膜晶體管和反相器上的成功應用。多年來，超薄高k柵介質(zhì)薄膜和薄膜晶體管一直是柔性顯示器件領域的研究重點，同時也是低功耗顯示器、CMOS集成電路必不可少的組成部分。該課題組利用價格低廉的基于全水溶液的溶膠技術低溫制備了性能優(yōu)異的ZrGdO_x高k柵介質(zhì)薄膜。器件測試結(jié)果表明TFT器件可以在5 V低壓下穩(wěn)定操作，在2V低壓操作下反相器增益高達7.4，對低能耗柔性器件的發(fā)展具有重要的意義。

該研究工作同時得到了三項國家自然科學基金面上項目的支持(11774001；51572002；11474284)和安徽省自然科學基金面上項目(1608085MA06)專項資金的經(jīng)費支持。